ТУСУР разрабатывает установку для автоматизации покрытий интегральных схем

Томск. 25 ноября. ИНТЕРФАКС - Ученый Томского университета систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) придумал как улучшить характеристики существующих установок электрохимического осаждения многослойных покрытий, чтобы делать аппараты более дешевыми и не наносящими вреда операторам, сообщает пресс-служба вуза.

Одна из распространенных задач при производстве микроэлектроники - получение многослойных металлических покрытий. Однако, в настоящее время на большинстве производств для их формирования применяются ручные установки. Это приводит к низкой производительности процесса и плохой воспроизводимости качества покрытий.

Аспирант ИРЭТ ТУСУРа Александр Шестериков разрабатывает установку, которая позволит автоматизировать процесс. Так, аппарат предполагает использование манипулятора, который точно перемещает пластины между химическими реакторами, а также систему контроля параметров растворов. Это также решит проблему низкого процента повторяемости результата.

Отсутствие необходимости ручного переноса пластин позволяет обеспечить герметичность установки при проведении процесса и полную откачку продуктов реакции вентиляционной системой. Это делает работу с ней безопасной для здоровья оператора.

"Микросхемы, на которые можно наносить покрытия с помощью разрабатываемой установки, используются в системах связи, радиолокации, навигации, в том числе в аппаратуре для космической техники и спецтехники. Чем надежнее и стабильнее получаются покрытия, тем дольше и безопаснее работают эти устройства", - приводит пресс-служба слова автора разработки.

Он также отметил, что стоимость установки по сравнению с "ручными" зарубежными и отечественными аналогами будет значительно ниже. Производительность относительно имеющихся установок вырастет в 2-3 раза.

Разрабатываемый аппарат ориентирован на промышленное производство многослойных покрытий и может применяться в электрохимических производствах, при покрытии металлических изделий, а также в научно-образовательных центрах. Заинтересованность в проекте выразили томские предприятия АО "НПФ "Микран" и АО "НИИПП".

ТУСУР создан в 1962 году как институт радиоэлектроники и электронной техники, статус университета получил в 1997 году; ведет подготовку бакалавров, специалистов и магистров по всем основным разделам электроники и радиотехники, программирования, информационной безопасности, электронной и вычислительной техники, автоматики и систем управления, информационных технологий.