Новосибирск. 18 февраля. ИНТЕРФАКС - Новосибирские ученые предлагают создать экспериментальную станцию "ОРЕЛ-7" (Опытный РЕнтгеновский Литограф) на базе одной из экспериментальных станций строящегося под Новосибирском Центра коллективного пользования "Сибирский кольцевой источник фотонов" (СКИФ), сообщил заведующий лабораторией Института физики полупроводников СО РАН Дмитрий Щеглов на первой российской конференции "Физические проблемы технологии рентгеновской литографии" в Новосибирске в среду.
"Проект оценивается как стандартная станция - около 4,5 - 5 млрд рублей, это, конечно будет стратегический проект", - сказал Щеглов.
По его словам, в настоящее время разработано предварительное техническое задание на эскизный проект станции.
Щеглов отметил, что в настоящее время развитие технологий литографии с использованием глубокого ультрафиолета с длиной волны 13,5 нм подходит к физическому пределу, дальнейшее развитие электроники на ее основе скорее связано с увеличением количества слоев и удорожанием технологии для дальнейшего уменьшения размера структур (технологической нормы).
Соответственно, использование рентгеновского излучения позволит перейти к ангстремным технологическим нормам, по крайней мере, для опытных разработок.
Для отработки технологии необходимо решить ряд проблем, в том числе по созданию соответствующей оптики, захватывающей достаточное количество фотонов и максимально сфокусировать их с необходимой глубиной фокуса, подходящей маски (фотошаблона) и т.д., добавил он.
При этом, отметил Щеглов, о планах реализовать в ближайшие годы технологию рентгеновской литографии уже заявил американский стартап Substrate.
По его словам, рентгеновская литография может использоваться не столько для микроэлектроники, но и для создания сенсоров для оперативной диагностики заболеваний, модификации материалов с помощью рентгеновского излучения и т.п.
Замдиректора ЦКП "СКИФ" по научной работе Андрей Бухтияров отметил, что в настоящее время на 23 экспериментальных станции второй очереди есть более 25 предложений, до конца года может быть утвержден план по развитию ЦКП на ближайшие 5 лет, при этом число станций, которые будут создаваться до 2035 года, сократилось вдвое.
Станции "ОРЕЛ7" в этих списках нет, уточнил он.
Концептуальные проекты на три станции второй очереди ("Белок", "Инженерное материаловедение" и "Спектроскопия и метрология мягкого рентгеновского диапазона" уже готовы.
Строительство синхротрона СКИФ началось в окрестностях наукограда Кольцово в Новосибирской области, неподалеку от ГНЦ "Вектор", 25 августа 2021 года. ЦКП "СКИФ" является обособленным подразделением Института катализа СО РАН.
Согласно уточненному плану строительства ЦКП "СКИФ", запуск установки с семью станциями первой очереди запланирован на 2026 год (по первоначальному плану - на конец 2024 года). Технический запуск ЦКП "СКИФ" состоялся 22 декабря прошлого года. Всего на СКИФе планируется построить 30 экспериментальных станций.
На станциях планируется изучать структуры биополимеров, механизмы функционирования живых организмов, передачу наследственной информации, механизм действия лекарственных препаратов, создание новых материалов, исследование быстротекущих процессов и так далее.
СКИФ станет первым в мире источником синхротронного излучения поколения 4+ с энергией 3 ГэВ.
Строительство ЦКП "СКИФ" изначально оценивалось в 37,1 млрд рублей; на данный момент окончательная стоимость всего проекта составляет более 50 млрд рублей.
Самое важное и интересное — "Интерфакс-Россия" в Мax
