Новосибирск. 25 июля. ИНТЕРФАКС-СИБИРЬ - Ученые Института физики полупроводников им.А.В.Ржанова СО РАН (ИФП) разработали кремниевые меры высоты и плоскостности, основанные на измерении атомных "ступеней" на поверхности кремния, говорится в сообщении ИФП.
"На сегодняшний день в России и мире - это единственный вид мер, охватывающий диапазон от сотых долей нанометра до десятков нанометров. Обычно для измерения объектов размером в доли нанометра и десятки нанометров используются разные масштабные "линейки", что приводит к увеличению количества искажений и ошибок", - говорится в сообщении.
Результаты работы опубликованы в журнале Американского химического общества "ACS Applied Materials & Interfaces".
Наименьший объект, который можно измерить таким способом, имеет размеры 0,3 нанометра, наибольший - 100 нанометров.
Отмечается, что такая "линейка" востребована среди производителей высокоточной измерительной аппаратуры (в частности, атомно-силовых микроскопов), на предприятиях микро- и наноэлектроники, высокоточного машиностроения.
