Новосибирск. 9 декабря. ИНТЕРФАКС - Специалисты Конструкторско-технологического института научного приборостроения СО РАН (КТИ НП СО РАН) и Института физики полупроводников СО РАН (ИФП СО РАН) разрабатывают оборудование для контроля оптических параметров слоев диэлектрика в микросхемах, сообщает КТИ НП СО РАН.
"Сейчас в ИФП идет разработка отечественного спектрального эллипсометра - таких приборов еще нет на российском рынке оборудования", - говорится в сообщении.
Главная функция эллипсометра состоит в том, чтобы с помощью блока, который формирует пучок световых лучей с заданными состоянием поляризации (плеча поляризатора) и анализатора, куда встроены объективы, измерить необходимые световые параметры и толщину диэлектрических слоев.
Поляризованный определенным образом луч падает на поверхность, отражается и попадает на детектор. Зафиксировав исходные и отраженные данные излучения, можно определить уровень изменения поляризации света и рассчитать необходимые параметры тонких пленок.
Возможности прибора позволяют контролировать толщины с точностью до одного атомарного слоя.
В КТИ НП СО РАН по заказу ИФП СО РАН разработан комплект оптических элементов (микрооптики) для отечественного эллипсометра.
При послойном нанесении материала зондирующий пучок поляризованного излучения должен попадать строго в контрольные площадки размерами 50 на 50 мкм, в ходе передвижения по всем контролируемым площадкам последовательно измеряется толщина и оптические характеристики слоев.
Таким образом в ходе изготовления полупроводниковых структур контролируются параметры технологических процессов, по завершению нанесения всех слоев основную пластину разрезают и получают чипы.
К объективам эллипсометров предъявляется ряд сложных технических требований и ограничений: широкий спектральный диапазон, минимальное влияние на поляризацию света, точность фокусировки, низкий уровень шума и другие.
На данный момент сотрудники КТИ НП провели математическое моделирование, сконструировали, собрали и осуществили юстировку трех вариантов микрообъективов. Для проведения испытаний и проверки качества работы объективов подготовили специальный экспериментальный стенд. В опытном производстве КТИ НП изготовили корпуса и оснастку для юстировки.
В ходе испытаний было подтверждено соответствие необходимых характеристик требованиям техзадания: все предложенные объективы могут применяться в промышленном спектральном эллипсометре.
Самое важное и интересное — "Интерфакс-Россия" в МАХ