Инжиниринговый центр при Томском университете внедрил технологии вуза для микроэлектроники

Томск. 17 февраля. ИНТЕРФАКС - "Инжиниринговый химико-технологический центр" (ИХТЦ) начал производство двух разработанных в Томском государственном университете (ТГУ) химических веществ, необходимых для развития отечественной микроэлектроники, сообщает пресс-служба вуза.

Так, ИХТЦ запустил производство особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титана. Планируется, что ИХТЦ сможет закрыть основные потребности в этих двух продуктах у российских предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектроники.

"Бромистый водород применяется для очистки поверхности кремниевых пластин, служащих основой для интегральных микросхем. Ранее бромистый водород поставлялся в Россию зарубежными компаниями, но после введения санкций поставки были прекращены. За 2023-2024 год химики ТГУ разработали отечественную технологию выпуска и очистки с использованием только российских реагентов, что обеспечивает технологическую независимость производства", - приводятся в сообщении слова руководителя проекта, директора Инжинирингового центра высокочистых веществ и материалов микроэлектроники ТГУ Виктора Сачкова.

В конце 2024 года технология была успешно внедрена на площадке малотоннажной химии ИХТЦ. Первые партии продукта уже прошли промышленные испытания на базе отечественных предприятий, занимающихся выпуском компонентов для микроэлектронных устройств и систем.

Вторая технология предназначена для синтеза соединения тетракис(диметиламино)титана, широко известного как TDMAT. Этот предшественник титана необходим для создания сложных электронных устройств. Он используется для химического осаждения пленок нитрида титана из газовой фазы. TDMAT необходим при производстве полупроводников, помимо этого, в нем заинтересованы и другие отрасли, например, производители изотопов, оптики, конструкционных покрытий и композиционных материалов. Первые партии TDMAT уже отправлены российским предприятиям.

Как сообщалось, Минпромторг РФ, ТГУ и ИХТЦ договорились о совместной разработке стратегии развития химической промышленности в России до 2035 года. Разрабатываемый документ включит в себя не только описание текущего положения дел в отрасли, но и все возможные перспективы и направления ее развития, а также механизмы необходимых изменений на государственном уровне.

ООО "Инжиниринговый химико-технологический центр" было образовано при Томском госуниверситете. Компания занимается разработкой технологий и веществ для заказчиков в различных отраслях промышленности. По данным ЕГРЮЛ, компания на 15% принадлежит ТГУ, еще на 85% - гендиректору Алексею Князеву.

Томский госуниверситет был открыт в 1888 году. Вуз занял шестое место в Национальном рейтинге университетов 2024 года, подготовленном международной информационной группой "Интерфакс".